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德國(guó)Klocke Nanotech納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x3D Nanofinger

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德國(guó)Klocke Nanotech納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x3D Nanofinger,俗稱納米三坐標(biāo),是一種實(shí)用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測(cè)量設(shè)備。

詳細(xì)介紹

德國(guó)Klocke Nanotech納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x3D Nanofinger

納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x(3D Nanofinger)俗稱納米三坐標(biāo),是一種實(shí)用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測(cè)量設(shè)備。由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成. 可測(cè)量樣品外形尺寸,表面輪廓、粗糙度等,并可與超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合,進(jìn)行在線檢測(cè)、質(zhì)量控制等。系統(tǒng)可以根據(jù)樣品設(shè)定測(cè)量路徑,測(cè)量范圍達(dá)到厘米級(jí)甚至更大?,F(xiàn)已廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)械加工、MEMS器件、半導(dǎo)體微電子加工、光學(xué)、分子生物學(xué)和精密工程。

工作原理:

· Nanofinger傳感器是一個(gè)小的MEMS器件,用來(lái)監(jiān)測(cè)針尖和樣品之間的距離。這個(gè)距離小于10nm時(shí),傳感器檢測(cè)到針尖和樣品之間的范德華力。此過(guò)程針尖跟樣品沒(méi)有接觸,即沒(méi)有任何損傷。

· Nanofinger的傳感器由一個(gè)特殊的,帶寬為幾kHz的高速電子控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng),閉環(huán)控制朝向樣品運(yùn)動(dòng),增量為1nm直至達(dá)到理想的信號(hào)值(如,放大倍數(shù)為75%)。這時(shí),位置信息以坐標(biāo)數(shù)據(jù)信息存儲(chǔ)下來(lái)。傳感器繼續(xù)運(yùn)動(dòng),到達(dá)下一位置,任何時(shí)候,都是1nm增量的閉環(huán)控制。同時(shí),在X.Y和Z方向都可以實(shí)現(xiàn)厘米的運(yùn)動(dòng)行程。

· 所有運(yùn)動(dòng)方向都實(shí)現(xiàn)1nm運(yùn)動(dòng)分辨率。線掃描后非常容易地獲得三維圖像。

應(yīng)用靈活:

· 3D-Nanofinger可以作為一個(gè)模塊,應(yīng)用到其他系統(tǒng)中。

· 可以構(gòu)建成一個(gè)獨(dú)立的納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x。

· 可以與Klocke公司的機(jī)械臂組合,安裝在SEM/FIB系統(tǒng)中,進(jìn)行三維測(cè)量。“實(shí)時(shí)的圖像位置”模塊引導(dǎo)Nanofinger輕松到達(dá)鼠標(biāo)點(diǎn)擊的SEM圖像位置。

設(shè)備主要參數(shù):

· 可選行程:

X = 20 or 50 mm2

Y = 20 or 50 mm2

Z = 10 or 20 mm2

采用花崗巖基底,XY方向行程擴(kuò)展為: 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2

· 測(cè)量特性:

運(yùn)動(dòng)分辨率: 1 nm

針尖分辨率: 0.5 nm

水平與豎直方向均配有操縱傳感器

線形輪廓測(cè)量

樣品內(nèi)部與外部輪廓測(cè)量

坐標(biāo)測(cè)量功能

· 測(cè)量用探針:

針尖型金屬絲, 半徑 < 100 nm

鉤型金屬絲, 半徑< 100 nm

圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm

金剛石針尖, 如用于表面壓痕

· 軟件:

針尖自動(dòng)校準(zhǔn)與逼近

2D 和 3D 圖形功能

工序設(shè)置,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜動(dòng)作自動(dòng)控制(選項(xiàng))

應(yīng)用圖例:

· 輪廓測(cè)量

二維和三維輪廓和表面精糙度參數(shù)

TFT LCD顯示行業(yè)的金字塔結(jié)構(gòu)

· 外形測(cè)量

沿內(nèi)部及外部形狀

1.4 mm直徑的內(nèi)螺紋

· 尺寸測(cè)量

確定物體的方位和尺寸

鉆床和磨床上使用的刀具刃部的三維圖像

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