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IoN 100 WB德國(guó) PVA TePla 等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間:2023-06-02 14:27:00瀏覽次數(shù):201次

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德國(guó) PVA TePla 等離子清洗機(jī) IoN 100 WB , 是推出的具有高性價(jià)比的真空等離子清洗設(shè)備,可以迅速快捷的更換不同類型的電極結(jié)構(gòu)。

詳細(xì)介紹

德國(guó) PVA TePla 等離子清洗機(jī)
型號(hào):IoN 100 WB等離子清洗機(jī)

IoN 100 WB是我們推出的具有高性價(jià)比的真空等離子清洗設(shè)備。它來(lái)源于IoN 100系列,IoN 100 WB延續(xù)了同樣的高品質(zhì)保障,包括可選壓力控制器、光譜終點(diǎn)檢測(cè)器以及各種不同的電極組構(gòu)造。

IoN 100 WB旨在滿足客戶大批量生產(chǎn)的需求,著重于表面處理的多功能性和可控性。其*的性能提供了出色的工藝控制、失效報(bào)警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設(shè)備可滿足半導(dǎo)體、生命科學(xué)等領(lǐng)域嚴(yán)格的控制要求。IoN 100 WB結(jié)構(gòu)緊湊,集成度高,采用射頻(RF)頻率激發(fā)等離子體。

IoN 100 WB的另一個(gè)之處是可以迅速快捷的更換不同類型的電極結(jié)構(gòu)。

*的功能特性:


● 觸摸屏操作,圖形用戶界面(GUI)

● 可配置的腔室可使用不同類型電極,適用于大批量處理或特殊的垂直懸掛處理

● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制

● 工藝員、操作元、維護(hù)員訪問(wèn)權(quán)限控制

● 自診斷功能和警報(bào)記錄功能,聯(lián)網(wǎng)在線診斷功能

● 以太網(wǎng)遠(yuǎn)程控制功能

● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

● 安裝簡(jiǎn)單快捷

規(guī)格參數(shù)


工作腔室材料 :鋁(標(biāo)配)
容積:107 升
內(nèi)部尺寸 :375 x 375 x 762 mm(寬/高/深)


工藝氣體


質(zhì)量流量控制計(jì):最多至6路氣體
工藝壓力 :200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時(shí)間 :
大約1分鐘 (取決于真空泵)


射頻電源 :風(fēng)冷13.56MHz,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源:220V 單相, 50Hz
工藝氣體 : 輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體 :輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣 : 輸入壓力 4-6 bar

機(jī)體

● 獨(dú)立的機(jī)體帶有所有電源和氣體接口
● 帶有旋轉(zhuǎn)墊腳的可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)身

設(shè)備尺寸


標(biāo)準(zhǔn)尺寸 :1067 x 737 x 1245 mm(寬/高/深,不含泵)
重量 : 約239千克(不含泵)


可選項(xiàng)


● 不銹鋼腔體

● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點(diǎn)檢測(cè)器

● 耐腐蝕性氣體的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機(jī)
● 液態(tài)單體操作裝置
● 真空泵(油泵、干泵或羅茨泵組)
● 汽相MFC

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