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特殊氣體供應系統(tǒng)

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廠商性質其他

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經營模式:其他

商鋪產品:17條

所在地區(qū):上海上海

聯(lián)系人:董經理

產品簡介

特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊

詳細介紹

特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。

對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet) 內,再通過管路將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥箱 (VMB, Valve Manifold Box) ,而后再進入制程機臺的使用點 (POU, Point of Use) ,于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤 (GB, Gas Box) 與制程控制模塊聯(lián)機,以質流控制 器 (MFC, Mass Flow Controller) 進行流量之控制與進氣的混合比例控制,一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架 (Gas Rack) 與閥盤 (VMP, Valve Manifold Panel) 進行供應。


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