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更新時間:2024-08-21 11:16:30瀏覽次數(shù):75次
聯(lián)系我時,請告知來自 紡織服裝機械網特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊
特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。
對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet) 內,再通過管路將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥箱 (VMB, Valve Manifold Box) ,而后再進入制程機臺的使用點 (POU, Point of Use) ,于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤 (GB, Gas Box) 與制程控制模塊聯(lián)機,以質流控制 器 (MFC, Mass Flow Controller) 進行流量之控制與進氣的混合比例控制,一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架 (Gas Rack) 與閥盤 (VMP, Valve Manifold Panel) 進行供應。
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