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日立超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:44條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

詳細(xì)介紹

超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射

為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍

?沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍

?采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)質(zhì)性能

?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

?采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

?運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度

項(xiàng)目 內(nèi)容
二次電子分辨率

Regulus 8100:0.7 nm(加速電壓15 kV);0.8 nm(著陸電壓1 kV)

Regulus 8220/8230/8240:0.6 nm(加速電壓 15 kV);0.7 nm(著陸電壓 1 kV)

著陸電壓

Regulus 8100:0.1~2 kV

Regulus 8220/8230/8240:0.01~20 kV

放大倍率

Regulus 8100:20~1,000,000倍

Regulus 8220/8230/8240:20~2,000,000倍

樣品臺(tái)控制

Regulus 8100:3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái))

Regulus 8220/8230/8240:5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

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