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Ted Pella 108Auto 108鍍膜儀

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技術(shù)參數(shù):l 自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果。l 通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程,避免樣品表面受損。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù):

l 自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果。

l 通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程,避免樣品表面受損。

l 操作容易快捷,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

l 在自動(dòng)模式下,可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程??赏ㄟ^(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,

l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

l 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/PdAu靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

l 樣品室大?。?/span>直徑120mm x 120mm (4.75 x 4.75")

l 樣品臺(tái):可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm

l 濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流40mA,程序化數(shù)字控制

l 濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

l 模擬計(jì)量:真空: Atm - 0.001mbar,電流:0-50mA

l 控制方法: 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫停"控制的數(shù)字定時(shí)器(5300s),自動(dòng)放氣.整個(gè)操作亦可全手動(dòng)控制。

l 真空泵:,抽氣速率: 6.0 m3/小時(shí) ,真空度到 0.1mb所需時(shí)間30.

l 桌上系統(tǒng): 真空泵可置于抗震臺(tái)上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

l 保修期:免費(fèi)保修一年

Ted Pella 108Auto 108鍍膜儀(圖1)



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