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真空等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間:2024-01-12 07:53:44瀏覽次數(shù):247次

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商鋪產(chǎn)品:6條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:黃工

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空等離子清洗機(jī)(1)產(chǎn)品介紹該設(shè)備為一種新型小型一體化等離子清洗氧化設(shè)備,可用于工件的清洗,氧化處理

詳細(xì)介紹

真空等離子清洗機(jī)

(1) 產(chǎn)品介紹 

該設(shè)備為一種新型小型一體化等離子清洗氧化設(shè)備,可用于工件的清洗,氧化處理。


(2) 特點(diǎn)

1. 配備高真空機(jī)械油泵,極限真空度可達(dá)到0.1 Pa,抽速>3 l/s

2. 配備兩個(gè)氣體輸入口,并配備流量計(jì)和針型閥進(jìn)行流量和真空度控制,標(biāo)配流量量程100 ml/min,真空度10 Pa以上可調(diào);

3. 標(biāo)配射頻等離子源頻率13.56 MHz(可選配40 KHz),標(biāo)配功率100 W(可選配其他功率),調(diào)節(jié)精度1 W;

4. 不銹鋼等離子腔體尺寸為~?150*240 mm,腔體內(nèi)部光滑處理,配有相應(yīng)的法蘭接口和氣體進(jìn)口,及其它輔助安裝口;

5. 工作臺(tái)尺寸為:140 mm*200 mm,高度80 mm,可放置小于該尺寸的樣品;

6. 真空采用電阻真空計(jì)和相應(yīng)的壓力控制儀測(cè)量,測(cè)量范圍10-1~105 Pa,精度1%;

7. 不銹鋼等離子腔體采用正面開門式結(jié)構(gòu),蓋上配有觀察窗,操作方便。


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