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CHaMP(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))

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所  在  地上海市

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更新時間:2023-10-09 12:14:31瀏覽次數(shù):99次

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聯(lián)系人:鐘 先 生

產(chǎn)品簡介

CHaMP(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))

詳細(xì)介紹

CHaMP(化學(xué)機(jī)械拋光機(jī))

  

  ● 2〞~12〞拋光頭,一臺設(shè)備可對應(yīng)各種尺寸晶圓的拋光加工。

  ● 搭載的晶圓搬送機(jī)構(gòu)支持全自動操作。

  ● 搭載了清洗單元支持高精度清洗。

 

 特征

  ■ 價格低

  ■ 占地面積小

  ■ 高性能CMP:搭載了通過半導(dǎo)體產(chǎn)品產(chǎn)線量產(chǎn)驗(yàn)證的成熟工藝

  ■ 根據(jù)用戶需求可靈活定制造:從研發(fā)、試驗(yàn)到量產(chǎn)均可拓展

 

 

氣浮型拋光頭Sylphide"

 

 ■ 由空氣膜在晶圓表面施加非常均勻的氣壓

 ■ 與空氣膜獨(dú)立的氣囊可保持穩(wěn)定的低壓

 ■ 獨(dú)立的保持器加壓氣囊可實(shí)現(xiàn)對晶圓邊緣輪廓的良好控制

 ■ 特殊的保持器•保護(hù)膜的組合可實(shí)現(xiàn)一鍵更換的操作,減少停機(jī)時間(參考下圖)

 ■ 可實(shí)現(xiàn)壓力分區(qū)控制(選配功能)

 

                                          












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