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PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn)
  • 采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。。
  • 可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。
  • 清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。
  • 可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
  • 清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌。
  • 樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。
  • 廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)
電壓AC220V 10A
消耗功率<500W(包括真空泵)
RF電源輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
腔體Φ190mm×98mm
細(xì)節(jié)圖
石英管Φ180mm×55mm,壁厚7mm
內(nèi)腔Φ165mm×55mm
清洗電極Φ120mm
樣品臺(tái)Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
樣品臺(tái)與電極間距15mm-50mm可調(diào)
抽氣管Φ12mm
極限真空度0.1Pa
工作真空度60Pa-500Pa
氣路數(shù)量2路(選裝)
流量控制器數(shù)量1、2
流量顯示儀2通道
氣路接口Φ6mm
加熱樣品臺(tái)Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)
冷卻水壓力0.2KPa-0.4KPa
工作環(huán)境溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對(duì)濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m
尺寸245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
重量20kg(不含真空泵)
可選配置

● 加熱樣品臺(tái)

● 流量控制器(量程10、50、100,多可增加2個(gè)通道)



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