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廣東眾科實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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所 在 地東莞市
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一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放,特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中,半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化,所以需要抽真空與充氮?dú)饴?lián)動(dòng)加以保護(hù)
產(chǎn)品用途: | ||||||
一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放,特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中,半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化,所以需要抽真空與充氮?dú)饴?lián)動(dòng)加以保護(hù)。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染,100級(jí)甚至更高的潔凈度可保護(hù)這些材料不被污染。 | ||||||
型號(hào) | ZK-DQKX-072 | ZK-DQKX-270 | ZK-DQKX-480 | ZK-DQKX-600 | ZK-DQKX-720 | ZK-DQKX-1000 |
內(nèi)箱尺寸 | 40×45×40 | 60×90×50 | 80×100×60 | 100×100×60 | 100×120×60 | 100×100×100 |
W×H×D (cm) | ||||||
外箱尺寸 | 72×116×56 | 93×163×67 | 110×172×77 | 130×172×77 | 116×170×116 | 116×150×166 |
W×H×D(cm) | ||||||
溫度范圍 | 室溫+25℃~200℃(300℃) RT+25℃~200℃(300℃) | |||||
溫度波動(dòng)度 | ±0.3℃ | |||||
溫度均勻度 | ±1%℃ | |||||
解析精度 | 0.1℃ | |||||
氧氣濃度 | 0-2000 PPM | |||||
升溫時(shí)間 | 30分鐘 | |||||
外箱材質(zhì) | 冷軋板+烤漆 | |||||
內(nèi)箱材質(zhì) | SUS#201不銹鋼板(200℃以上材質(zhì)為SUS#304不銹鋼板) | |||||
隔熱材質(zhì) | 玻璃棉 | |||||
循環(huán)系統(tǒng) | 離心風(fēng)機(jī)風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) | |||||
加熱系統(tǒng) | SUS#不銹鋼高速加熱器 | |||||
控制系統(tǒng) | 按鍵式數(shù)顯控制器 | |||||
氮?dú)庀到y(tǒng) | 流量計(jì)+壓差表(選配氧氣分析儀) | |||||
附件 | 控制狀態(tài)指示燈,隔層架(2個(gè),高度可調(diào)) | |||||
安全裝置 | 相序保護(hù),超溫,過(guò)流,過(guò)載 | |||||
電源 | AC 3Ψ 380V 60/50Hz | |||||
定制服務(wù) | 非標(biāo)特殊要求,可定制 | |||||
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì): | ||||||
A、材質(zhì):內(nèi)部采用不銹鋼板制造,外部SS41鋼板鐵材加防銹處理及粉體烤漆 | ||||||
B、保溫:采用高密度100K的耐高溫保溫棉﹐六面保溫絕熱。 | ||||||
C、門(mén) :?jiǎn)伍_(kāi)門(mén)式,美式全開(kāi)后鈕,門(mén)四周皆裝置耐高溫硅膠迫緊,堅(jiān)固耐用. | ||||||
D、換氣裝置:換氣量采用全進(jìn)全出可調(diào)式風(fēng)門(mén),可直接與排風(fēng)管連接. | ||||||
E、機(jī)臺(tái)滑輪:采滑輪移動(dòng)調(diào)整擺放位置與強(qiáng)力螺栓固定位置 | ||||||
F、箱內(nèi)盤(pán)架:標(biāo)配可活動(dòng)調(diào)整柵盤(pán)架或不銹鋼條狀柵盤(pán)二只 | ||||||
G、送風(fēng)系統(tǒng):特制耐高溫烤箱專用馬達(dá),配合多翼式風(fēng)輪高速運(yùn)轉(zhuǎn)及單面水平送風(fēng)循環(huán),溫度均勻。 | ||||||
H、電熱系統(tǒng):采用覆套式電熱器無(wú)塵化電熱發(fā)生器,低輻射熱不易氧化,耐用期限5~10年。 | ||||||
產(chǎn)品特點(diǎn): | ||||||
1. 內(nèi)外箱材質(zhì):外箱為鋼板烤漆 內(nèi)膽為鏡面不銹鋼 | ||||||
2. 保溫材質(zhì): 高效壓縮玻璃棉 | ||||||
3. 保溫裝置: 無(wú)熔絲開(kāi)關(guān),超溫保護(hù)開(kāi)關(guān),瓷質(zhì)保險(xiǎn)絲 | ||||||
4. 配 件: 可調(diào)隔層板2-6件 | ||||||
5. 電 源: 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地 | ||||||
6. 風(fēng)機(jī)延時(shí)斷電功能(可另購(gòu)配程控) | ||||||
7.高溫氮?dú)夂嫦?/span>保險(xiǎn)裝置: 次超溫報(bào)警,第二次超溫切電功能,MCCB過(guò)載保護(hù),溫度自整定,電熱鰭片式散熱管形電熱管 | ||||||
8. 運(yùn)風(fēng)系統(tǒng): 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及特別設(shè)計(jì)出風(fēng)口,溫度分布均勻度特佳 | ||||||
9. 控制形成 :溫度到達(dá)設(shè)定溫度后自動(dòng)打開(kāi)時(shí)間計(jì),時(shí)間到達(dá)后切斷發(fā)熱電源,蜂鳴提示 |
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