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超高真空直線運動模組-LZU系列

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更新時間：2023-12-11 13:17:51瀏覽次數(shù)：101次

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北京埃光科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

LZU系列超高真空兼容性直線運動模組可以為幾公斤的負(fù)載提供長行程直線位移。高精度滾珠導(dǎo)軌適用于扭轉(zhuǎn)載荷較小的簡單復(fù)合機構(gòu)中。平滑的運動由高精度滾珠絲桿搭配精密滾珠螺母提供，以確保良好的位置穩(wěn)定性，并包含預(yù)加載絲桿螺母以消除齒隙。傳動部分配合低飽和蒸氣壓潤滑脂，使運動更加平滑且不對真空度造成影響。驅(qū)動方式采用真空步進(jìn)電機，可選擇安裝限位開關(guān)或脈沖信號位置控制方式。產(chǎn)品采用超高壓兼容材料和加工方法，避免材料對使用環(huán)境造成的影響。

詳細(xì)介紹

商品描述

產(chǎn)品特點

一體化設(shè)計，尺寸緊湊、機械剛度高、重復(fù)定位精度高；

形成范圍可在50至500mm；

適用于常溫至200℃的高溫范圍；

可應(yīng)用于10-7Pa至常壓的環(huán)境中；

傳動方式采用精密滾珠絲桿；

重復(fù)定位精度±0.05mm；

分辨率可達(dá)5μm/step;

負(fù)載能力可達(dá)30kg；

可堆疊用于XYZ；

可根據(jù)要求定制非標(biāo)形成或結(jié)構(gòu)；

可提供二維、三維或龍門結(jié)構(gòu)整體解決方案；

規(guī)格說明書

描述	單位	LZUV		LZUL
行程	mm	50/100/200/250/300/350/400/450/500
速度	mm/s	15		4
低壓下建議加速度	mm/s2	2		0.8
重復(fù)精度	μm	0.5		1
中心負(fù)載	Kg	30
負(fù)載扭矩	Nm	＜6
導(dǎo)程	mm	6
軸向負(fù)載（500Hz，1A）	kg	7		12
直線度	μm	＜2μm/100mm
使用環(huán)境極限真空	Mbar	1×10-7pa
使用環(huán)境極限溫度	℃	200
50mm行程重量	Kg	1	1.5
每增加50mm行程重量	Kg	0.35

LZUV-直連電機尺寸圖

LZUL-緊湊電機尺寸圖

訂購信息

LZUV-xxx	Xxx=行程（mm）；
LZUV-xxx-S	Xxx=行程（mm）；附帶2只限位開關(guān)；
LZUV-xxx-E	Xxx=行程（mm）；光學(xué)編碼器；
LZULxxx	Xxx=行程（mm）；
LZUL-xxx-S	Xxx=行程（mm）；附帶2只限位開關(guān)；
LZUL-xxx-E	Xxx=行程（mm）；光學(xué)編碼器；