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Edwards nEXT 85 渦輪分子泵

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

nEXT 85型分子泵是成熟產(chǎn)品 渦輪重新整體設(shè)計(jì),以達(dá)到優(yōu)化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下,即能達(dá)到更高轉(zhuǎn)速,又能實(shí)現(xiàn)更高壓縮比。nEXT85性分子泵的工作性能和服務(wù)擴(kuò)大了nEXT分子泵的應(yīng)用范圍,實(shí)現(xiàn)了智能安裝、現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),成為真正的領(lǐng)*產(chǎn)品。性能特點(diǎn)? 性能,技術(shù)領(lǐng)*? 型號(hào)眾多,易于用戶選擇? 采用Edwards渦輪溫度直接測(cè)量技術(shù),極大提高工作安全性能? 前級(jí)接口和級(jí)間接口可根據(jù)用戶需求選擇(NW40、ISO63、CF63、ISO100)或定制? 用戶可自行更換軸承和油盒? CMSD技術(shù)使得震動(dòng)水平更低? 智能化,通過(guò)USB口和Edwards nST軟件可實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的監(jiān)測(cè)。

詳細(xì)介紹

概述

nEXT85型分子泵是成熟產(chǎn)品EXT75DX型分子泵的升級(jí)產(chǎn)品,技術(shù)性能進(jìn)一步提升,外形進(jìn)一步簡(jiǎn)潔美觀。

渦輪重新整體設(shè)計(jì),以達(dá)到優(yōu)化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下,即能達(dá)到更高轉(zhuǎn)速,又能實(shí)現(xiàn)更高壓縮比。

nEXT85性分子泵的工作性能和服務(wù)擴(kuò)大了nEXT分子泵的應(yīng)用范圍,實(shí)現(xiàn)了智能安裝、現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),成為真正的領(lǐng)*產(chǎn)品。

性能特點(diǎn)

? 性能,技術(shù)領(lǐng)*

型號(hào)眾多,易于用戶選擇

采用Edwards渦輪溫度直接測(cè)量技術(shù),極大提高工作安全性能

前級(jí)接口和級(jí)間接口可根據(jù)用戶需求選擇(NW40、ISO63、CF63ISO100)或定制

用戶可自行更換軸承和油盒

?  CMSD技術(shù)使得震動(dòng)水平更低

智能化,通過(guò)USB口和Edwards nST軟件可實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的監(jiān)測(cè)、 

技術(shù)指標(biāo)


nEXT85 D

nEXT85 H


入口法蘭

NW40

ISO63

CF63

ISO100

NW40

ISO63

CF63

ISO100


抽速

l/s

N2

47

84

86

47

84

86


He

61

78

80

61

78

78


H2

49

60

60

49

54

54


Ar

44

80

84

44

80

84


N2

>1011


He

8×106

2×107


H2

2×105

5×105


Ar

>1011


極限真空(mbar

ISO<10-9,CF<5×10-10


出口法蘭

KF16


放氣口/吹掃口

1/8英寸BSP母螺紋


質(zhì)量(kg

2.9

3.0

4.4

3.2

2.9

3.0

4.4

3.2


前級(jí)真空要求

mbar

N2

19

21


He

19

21


H2

30

30


Ar

22

21


*大連續(xù)入口流量(N2

42sccm[水冷(水溫15°C,環(huán)境溫度40°C],60sccm[空冷(環(huán)境溫度20°C]


推薦前級(jí)泵

nXDS15i

入口*高溫度

120°C


工作姿態(tài)

垂直、水平(±2°)

工作轉(zhuǎn)速

90000rpm


90%轉(zhuǎn)速啟動(dòng)時(shí)間

80W130s,120W90 s

冷卻方式

空冷/水冷


噪聲(1m處)

<34dB(A)±2.5

*大耐受磁場(chǎng)

3.5mT


電源

24V~48V DC

模擬輸出電壓

0V~10V DC


工作溫度范圍

5°C ~40°C

工作濕度范圍

10% ~90%RH


儲(chǔ)存溫度范圍

-30°C ~70°C

工作*高海拔

2000m

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