上海珩澤科技有限公司
簡要描述：Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。
Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡是一款用于失效分析的高精度高性能且易使用的原子力顯微鏡，Park NX-Hivac可為用戶提供精確且高效的測量結果。
在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精準的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。
Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上精細控制真空條件，在抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更有效。
柔性引導高推動力掃描器
掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)
閉環(huán)控制的柔性引導XY掃描器
掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選50 µm × 50 µm)
Z位移臺行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)
樣品大小: 尺寸上限為 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可達 20 mm
樣品重量 : < 500 g
10倍長工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel
內真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm
真空等級: 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內達到 10-5 torr
AFM系統(tǒng)控制和數據采集軟件
智能模式的快速設置和簡易成像
手動模式的使用和更精密的掃描控制
AFM數據分析軟件
自動真空控制軟件
集成功能
4通道靈活的數字鎖相放大器
彈簧常數校準（熱法，可選）
數字Q控制
外部信號接入
20個嵌入式信號輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調制和交流偏置
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