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更新時(shí)間:2023-07-24 10:26:40瀏覽次數(shù):394次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡,圖象質(zhì)量更進(jìn)一步
高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。
通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心"。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率"的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀(guān)察功能"*1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器"*1它為觀(guān)察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1:自選
特點(diǎn):
? 低加速電壓觀(guān)察時(shí)分辨率更高,可更好地觀(guān)察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
? 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀(guān)察
? 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒
? 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀(guān)察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)"*4
? 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀(guān)察功能"*4
*2:和日立SEM S-3400N相比
*3:根據(jù)觀(guān)察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
*4:自選
規(guī)格:
項(xiàng)目 | 描述 | |
---|---|---|
二次電子分辨率 | 3.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm高真空模式) 7.0 nm(加速電壓=3 kV,WD=5 mm高真空模式) | |
背散射電子分辨率 | 4.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm低真空模式) 10.0 nm(加速電壓=5 kV,WD=5 mm高真空模式) | |
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) 7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6) | |
加速電壓 | 0.3~30kV | |
可變壓力范圍 | 6~650Pa | |
樣品尺寸 | 直徑 200 mm | |
樣品臺(tái) | X | 0~100mm |
Y | 0~50mm | |
Z | 5~65mm | |
R | 360° | |
T | -20~90° | |
可觀(guān)察區(qū)域 | 直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用) | |
樣品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
探檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | |
EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows®7(有更改,恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) 小屏模式(800 × 600 像素) 雙圖像顯示(800 × 600 像素) 四屏幕顯示(640 × 480像素) 信號(hào)混合模式 | |
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
渦輪分子泵 | 261升/秒 × 1 | |
機(jī)械泵 | 135 L/min.(162 L/min.,60Hz) × 1 |
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