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等離子清洗機(jī) YSP

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更新時(shí)間：2023-09-02 14:05:36瀏覽次數(shù)：216次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)應(yīng)用鏈接:用途●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理●清洗各類基板

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質(zhì)。
● 去除有機(jī)物和自然氧化膜。

特點(diǎn)
● 體積小，節(jié)省空間。
● 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
● 可通過(guò)操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應(yīng)臺(tái)。

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

型號(hào)

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE（DP模式選購(gòu)）

高頻輸功率

600W

2000W

反應(yīng)臺(tái)尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應(yīng)氣體

2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)


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