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廣州市固潤光電科技有限公司


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主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列

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產(chǎn)品型號AVI-200

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更新時間:2023-03-20 12:38:23瀏覽次數(shù):280次

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商鋪產(chǎn)品:33條

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產(chǎn)品簡介

主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動,以提高精密設(shè)備的性能,具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz,被動隔振頻率200Hz。廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導(dǎo)體設(shè)備、干涉儀、電子天平精密設(shè)備隔振。

詳細介紹

產(chǎn)品描述:

主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動,以提高精密設(shè)備的性能,具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz,被動隔振頻率>200Hz。

廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導(dǎo)體設(shè)備、干涉儀、電子天平精密設(shè)備隔振。適用于各類大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統(tǒng)防震臺,時頻系統(tǒng)防震臺,大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺,激光設(shè)備主動防震!

主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列

工作原理:

主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列采用*的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。Herz AVI系列利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振。可為實驗室中對震動敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

產(chǎn)品特點:

  • 主動隔振頻率5Hz – 200Hz
  • 被動隔振頻率>200Hz
  • 5-20ms的響應(yīng)時間
  • 安裝簡單,容易使用
  • 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
  • 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計
  • 多種規(guī)格尺寸的面板支持各種研究及應(yīng)用

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • STM
  • AFM
  • 干涉測量
  • 摩擦學(xué) 輪廓測量
  • 其他高精密儀器

性能優(yōu)勢:

  • 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
  • 六個空間方向的自由隔振
  • 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振
  • 低頻隔振性能優(yōu)秀
  • 無低頻共振、無空氣要求

兼容性:

AVI-200 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)(負載能力:高達400kg) :

隔振效果:

主動隔振光學(xué)平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列 測試效果圖

標簽:AVI系列Herz主動減振臺主動防振臺主動隔振臺傳感器光學(xué)平臺加速度傳感器電子天平防震臺隔振隔振臺隔振系統(tǒng)

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