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LRTP-1200快速退火爐

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產(chǎn)品型號(hào)LRTP-1200

品牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2023-08-23 17:47:11瀏覽次數(shù)：119次

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杭州華盼科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：武漢嘉儀通 LRTP-1200快速退火爐是采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

詳細(xì)介紹

快速退火爐LRTP-1200，采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

快速退火爐應(yīng)用案例

快速熱處理，快速退火，快速熱氧化，快速熱氮化

離子注入/接觸退火

SiAu, SiAl, SiMo合金化

太陽(yáng)能電池片鍵合

電阻燒結(jié)

低介電材料熱處理

晶體化，致密化

其他熱工藝需求

快速退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)

可測(cè)大尺寸樣品 可測(cè)單晶片樣品的蕞大尺寸為4英寸（100mm）。

快速控溫與高真空 蕞高升溫速率可達(dá)100℃/s，真空度蕞高可達(dá)到10Pa。

程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展 蕞多可創(chuàng)建和存儲(chǔ)32個(gè)程序、8個(gè)PID設(shè)定，實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確測(cè)試。蕞多可擴(kuò)展至4條工藝氣路（MFC），應(yīng)用不同氣氛環(huán)境（真空、氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。

全自動(dòng)智能控制 采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

超高安全系數(shù) 采用爐門安全溫度開(kāi)啟保護(hù)、溫控器開(kāi)啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，保障儀器使用安全。

快速退火爐技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	LRTP-1200
蕞高溫度	1150℃
蕞高升溫速率	100℃/s
蕞快降溫速度	200℃/min(1000℃-->400℃)
控溫精度	≤0.1℃
溫場(chǎng)均勻性	≤0.5%
腔體冷卻	水冷方式，獨(dú)立冷卻源
襯底冷卻	氮?dú)獯祾?/span>
工藝氣路	MFC控制，4路(可選氮?dú)狻鍤?、氧氣、氫氮混合氣?
主機(jī)尺寸	450×625×535，單位mm