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日立透射電子顯微鏡 H-9500

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品說明: 原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡 在精細加工技術(shù)已進入到亞納米級水平的半導(dǎo)體,*材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,的工具。 為...

詳細介紹

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡 在精細加工技術(shù)已進入到亞納米級水平的半導(dǎo)體,*材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,的工具。 為了滿足這種需求,日立公司研發(fā)出了透射電子顯微鏡 H-9500,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種優(yōu)*性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨*功能,并采用了新的數(shù)字技術(shù),便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡
在精細加工技術(shù)已進入到亞納米級水平的半導(dǎo)體,*材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,的工具。
為了滿足這種需求,日立公司研發(fā)出了透射電子顯微鏡 H-9500,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種優(yōu)*性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨*功能,并采用了新的數(shù)字技術(shù),便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。
用戶友好型的操作系統(tǒng)
·和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計
·快速的樣品分析,1分鐘換樣,5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡
·點分辨率為0.18 nm,晶格分辨率為0.1 nm
·穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測角臺
性能好,可靠性高
·得到市場驗證的10級加速器電子槍設(shè)計
·阻抗式高壓電纜設(shè)計
*檔可選附件
·通用樣品桿,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
·可為原子分辨率的動態(tài)研究提供加熱,冷卻和氣體注入等多種樣品桿
技術(shù)參數(shù)
項目 說明
分辨率 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點分辨率)
加速電壓 300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率 連續(xù)放大模式 1,000~1,500,000×
選區(qū)模式 4,000~500,000×
低倍模式 200~500×
電子槍 燈絲 LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
燈絲交換 自動升降式電子槍
高壓電纜 阻抗電纜
照射系統(tǒng) 透鏡 四級透鏡
聚光鏡光闌 4孔可變
探針尺寸 微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4級)
納米束模式:1 - 10 nm(4級)
電子束傾斜 ±3°
成像系統(tǒng) 透鏡 五級透鏡
聚焦 圖像搖擺調(diào)整
利用像散監(jiān)視器進行正焦補償
聚焦優(yōu)化
物鏡光闌 4孔可變光闌
選區(qū)光闌 4孔可變光闌
電子衍射   選區(qū)電子衍射
納米探針電子衍射
會聚束電子衍射
相機長度 250 - 3,000 mm
樣品室 樣品臺 5軸優(yōu)中心海帕測角臺
樣品尺寸 3mmΦ
樣品位置追蹤 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通過CPU控制馬達驅(qū)動
樣品位置顯示 自動驅(qū)動,自動跟蹤
樣品傾斜 α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺*2)
防污染 冷阱
烘烤功能 中溫烘烤功能
觀察室 熒光屏 主屏:110 mmΦ
聚焦屏:30 mmΦ
目鏡 7.5×
照相室 區(qū)域選擇 整張照相/半張曝光
膠片 25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面   操作系統(tǒng):Windows XP®
顯示器 19英寸顯示器
功能 數(shù)據(jù)庫,測量,圖像處理
數(shù)碼CCD 相機*3 相機耦合 透鏡耦合
有x像素 1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率 12位
真空系統(tǒng) 電子槍 離子泵:60 L/s
鏡筒 渦輪分子泵:260 L/s
觀察室/照相室 擴散泵:280 L/s
前級泵:135 L/min × 3臺
*1:放大倍率校準(zhǔn)為可選項
 
*2:可選件
 
*3:本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時的*諾


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