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矩形超高真空插板閥

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地南充市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:20條

所在地區(qū):四川南充市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、簡(jiǎn)介  此系列閥門(mén)為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理,外形上美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動(dòng)化閥門(mén)之一

詳細(xì)介紹

一、簡(jiǎn)介

  此系列閥門(mén)為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理,外形上美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動(dòng)化閥門(mén)之一。閥門(mén)是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力,通過(guò)傳動(dòng)桿推(拉)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu),帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)體通過(guò)擺桿與閥板連接并帶動(dòng)閥板開(kāi)啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門(mén)的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、特點(diǎn)

? 采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu),閥板受力均勻,閥門(mén)開(kāi)啟沖擊振動(dòng)小,噪聲低;

? 四滾輪支撐運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),動(dòng)作平穩(wěn),運(yùn)動(dòng)噪聲小;

? 動(dòng)密封采用波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,密封可靠;

? 閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率小;

? 在更小的體積上,一次性通過(guò)更多的工件,合理使用了空間。

三、主要性能指標(biāo)

? 適用范圍:1×10-6Pa~1.2×105Pa

? 打開(kāi)時(shí)插板上的壓差:≤2×103Pa任意方向

? 閥體和閥座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1

? 保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):10,0000次

? 閥體烘烤溫度:≤150℃

? 安裝位置:驅(qū)動(dòng)體水平或垂直

? 電源:交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊規(guī)格可定做)

? 壓縮空氣:0.5~0.7MPa

? 閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉時(shí)間:根據(jù)公稱(chēng)通徑而定

? 閥門(mén)位置指示:帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)(磁性開(kāi)關(guān))

? 閥門(mén)重量:以不同公稱(chēng)通徑而定


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